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MT-300-IC半導(dǎo)體LED芯片金線檢查金相工具顯微鏡
一、產(chǎn)品功能
該設(shè)備主要用于手機(jī)顯示模組及有關(guān)產(chǎn)品的觀察及尺寸測量。將工件放于顯微鏡下，使用不同的物鏡對產(chǎn)品進(jìn)行觀察，對需要測量的位置使用帶光柵的高精密移動(dòng)平臺(tái)結(jié)合數(shù)據(jù)處理軟件進(jìn)行尺寸測量，使用數(shù)字相機(jī)進(jìn)行實(shí)時(shí)影像處理、觀察以及拍照，實(shí)現(xiàn)對產(chǎn)品的尺寸以及外觀檢查。
二、系統(tǒng)構(gòu)成
全套設(shè)備由以下幾部分組成：
1、MT-300工具金相顯微鏡
2、OMT-1.5D定制測量軟件
3、630萬像素USB3.0高速相機(jī)（30幀），可選1200萬（20幀）和2000萬像素（12.5幀）
4、外設(shè)（計(jì)算機(jī)）
三、技術(shù)參數(shù)
1、MT-300測量顯微鏡；
1）顯微鏡類型：工具金相顯微鏡;
2）放大倍數(shù)：放大50、100、200、500倍；可以選配1000倍
3）光源類型：5W白光LED燈；
4）視場數(shù)：22；
5）照明方式：反射光，科勒照明/透射光普通照明；
6）觀察方法：明場；
7）微分干涉：DIC微分干涉成像；（干涉片為選配）
8）物鏡轉(zhuǎn)盤：5孔明場物鏡轉(zhuǎn)盤；
9）物鏡類型：平場復(fù)消色差物鏡；
10）載物臺(tái)結(jié)構(gòu)：三層機(jī)械結(jié)構(gòu)高精度移動(dòng)載物臺(tái)
11）測量行程：X軸300mm，Y軸200mm，Z軸200mm
2、OMT-1.5D測量軟件
1）實(shí)時(shí)影像觀察
2）實(shí)時(shí)圖像抓取
3）二維幾何尺寸測量
4）測量結(jié)果報(bào)表輸出
5）多分辨率切換
3、USB3.0高速數(shù)字相機(jī)；
1）630萬有效像素
2）1/1.8"CMOS芯片，單個(gè)像素面積2.4X2.4um
3）半導(dǎo)體制冷
4）采用OTC真彩還原技術(shù)，具有優(yōu)良的色彩還原效果；
5）高靈敏度，*短曝光時(shí)間10ms；
6）高速USB3.0數(shù)據(jù)傳輸；
7）標(biāo)準(zhǔn)C-mount視頻接口；
4、高精度載物臺(tái)
1）XY行程300X200mm，臺(tái)面450*350mm
2）平臺(tái)光柵顯示精度值0.5um，可以選配0.1um
3）傳動(dòng)方式：手動(dòng)
5、Z軸測量準(zhǔn)確度
1）Z軸光柵顯示精度值0.5um（可以選配0.1um），測量精度在3-5um
2）傳動(dòng)方式：手動(dòng)
6、外設(shè)
計(jì)算機(jī)：戴爾品牌
OptiPlex 3050MT操作系統(tǒng)W7處理器芯片I5-7500，3.40GHZ內(nèi)存8G，硬盤1TB， DVD光驅(qū)
23寸戴爾顯示器HDMI高清1920*1080
MT-300測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能，具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測。
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光學(xué)系統(tǒng) |
無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) |
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觀察頭 |
30°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm，兩檔分光比 100/0 或 0/100 |
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目鏡 |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/22mm，可帶測微尺 |
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轉(zhuǎn)換器 |
內(nèi)定位 5 孔轉(zhuǎn)換器 |
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物鏡 |
5X無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相 DIC 物鏡 |
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10X無限遠(yuǎn)超長工作距平場消色差金相 DIC 物鏡 |
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20X無限遠(yuǎn)超長工作距平場消色差金相DIC物鏡 |
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50X無限遠(yuǎn)長工作距平場明場消色差金相物鏡 |
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100X無限遠(yuǎn)超長工作距平場明場半復(fù)消金相物鏡 |
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放大倍率 |
光學(xué)放大倍率 ：50X-1000X |
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系統(tǒng)放大倍率 ：135X-2700X |
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測量顯微鏡主體 |
手動(dòng)測量平臺(tái)（行程 200mm(X)×100(Y)mm，帶數(shù)顯器；樣品高度 175mm； 測量精度，X 和 Y ：（2+L/200)μm，L 為測量長度（單位 mm） Z:（3+L/200)μm |
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手動(dòng)測量平臺(tái)（行程 300mm(X)×200(Y)mm，帶數(shù)顯器；樣品高度 175mm； 測量精度，X 和 Y ：（2+L/200)μm，L 為測量長度（單位 mm） Z:（3+L/200)μm |
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照明系統(tǒng) |
明場反射照明器，帶明場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶 5WLED 燈源，亮度可調(diào)（含托架適配器） |
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輔助對焦模塊，帶對焦分劃板兩檔， |
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調(diào)焦方式 |
手動(dòng)粗微調(diào)手輪調(diào)節(jié)，精度0.001mm，調(diào)焦距離 175mm |
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偏振光 |
起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
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DIC 組件 |
微分干涉組件 |
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相機(jī) |
像素630 萬 ；3072(H)×2048(V) ；幀率 ：30fps ；接口 ：USB3.0 ；圖像傳感器 ：CMOS（彩色） |
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攝像接口 |
0.65XCTV、C 型接口、可調(diào)焦 |
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PC |
戴爾電腦OptiPlex 3050MT操作系統(tǒng)W7處理器芯片I5-7500，3.40GHZ內(nèi)存8G，硬盤1TB， 23寸戴爾顯示器HDMI高清1920*1080 |
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軟件 |
OMT-1.5精密測量軟件 |
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標(biāo)尺 |
0.01mm |
